產(chǎn)品描述：半導(dǎo)體材料氣體檢測

可檢測微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏，可對(duì)半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場所進(jìn)行泄漏檢測，

也可對(duì)氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。

01.產(chǎn)品特點(diǎn)

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏

·  適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)

·  搭載的泵有自動(dòng)停止功能

·  搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能

·  保護(hù)等級(jí)約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時(shí)

02.產(chǎn)品用途

·  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

·  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測

03.產(chǎn)品參數(shù)